1.動態(tài)響應好
電容式傳感器具有固有頻率高、動態(tài)響應時間短的特點，由于極板與小而薄的活動件之間的靜電吸引很小，可以在幾兆赫的頻率下工作。特別適用于振動測量和瞬時壓力測量等動態(tài)測量。
2.高阻抗、低功耗
電容式傳感器由于極板間的靜電吸引很?。s10-5N），所以所需的*小輸入能量，因此適合于解決測量低能量輸入的問題，如測量極低、極小的力和加速度的壓力。定量、位移等，可以非常靈敏，分辨率很高，可以感覺到0.001畝甚至更小的位移。
3.結(jié)構(gòu)簡單，適應性強
電容式傳感器是一種可以測試導體或半導體，可以在惡劣環(huán)境下工作的傳感器。電容式傳感器具有結(jié)構(gòu)簡單、易于制造、體積小等特點，可以實現(xiàn)一些測量?？稍诟叩蜏亍娸椛浜蛷姶艌龅葠毫迎h(huán)境下工作，也可與磁性工件測量。
4.非接觸測量可以達到平均效果
如轉(zhuǎn)軸振動或偏心、小滾珠軸承徑向間隙等的非接觸測量，采用非接觸測量時，電容式傳感器具有平均效應，可以減小工作表面粗糙度對測量的影響。
5.良好的溫度穩(wěn)定性
電容式傳感器的電容值一般不受電極材料的影響，有利于選擇溫度系數(shù)較低的材料，且由于其*小的發(fā)熱對穩(wěn)定性影響不大。